Обложка книги Ионная и фотонная обработка материалов, Комаров Фадей Фадеевич, Константинов Станислав Валерьевич  
Поделись книгой!
 
Издательство: Вышэйшая школа, 2022
Переплёт: Твердый переплет, 246 страниц
Категория: Физические науки. Астрономия
ISBN: 978-985-06-3395-8
Формат: 207x147x17 мм, 384 г
 
📙 Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.
Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.

Где найти книгу?

Мнения