Обложка книги Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство, В. Ю. Киреев  
Поделись книгой!
 
Издательство: Интеллект, 2016
Переплёт: Твердый переплет, 328 страниц
Категория: Учебная литература
ISBN: 978-5-91559-215-4

Где найти книгу?

📘 В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.
Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.

Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
Мнения