Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем
Поделись книгой!
Автор: Мокеев О.К.,
Романов А.С.
Издательство: Высшая школа, 1979
Переплёт: Твердый переплет, 272 страницы
Серия: Профтехобразование. Радиоэлектроника
Категория: Букинистика
Тираж: 9000
Где найти книгу?
📓 В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование.
Мнения