Ионно-плазменные технологии в электронном производстве

📘 Рассмотрены физические основы ионно-плазменных технологий, которые используются в производстве электронных приборов, и методы их контроля. Приведено описание конкретных процессов и установок ионно-плазменных технологий, а также оптических контрольно-измерительных средств.Издательство: Энергоатомиздат