Физика субмикронной литографии

📖 Излагаются физические основы методов литографии, позволяющих получить структуры с субмикронными размерами. Освещаются вопросы электронно-лучевой литографии, физики источников электронов и электронной оптики, физики взаимодействия электронных пучков с веществом.