Микрометаллургия в микроэлектронике

📙 Изложены физико-химические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. Проанализировано влияние размерных эффектов в твердом теле и в процессах его формирования на развитие микроэлектроники, обсуждены предельные возможности миниатюризации и интеграции полупроводниковых приборов..Издательство: Металлургия