Введение в эллипсометрию

📖 В книге изложены основы эллипсометрии - прецизионного оптического метода исследования физико-химических процессов на поверхности твердых веществ. Приведены необходимые сведения по теории отражения поляризованного излучения на основе макроскопического и микроскопического подходов. Даны методика измерения эллипсометрических параметров исследуемой поверхности и основные методы решения обратной задачи эллипсометрии.
Издательство - Издательство Ленинградского университета