Вакуумная техника в производстве интегральных схем 12+
Поделись книгой!
Автор: Б. С. Данилин
1972
Переплёт: Твердый переплет, 256 страниц
Категория: Научная литература
ISBN: ГВН 360/БН2-13102018/1
Тираж: 9000
Где найти книгу?
📗 В книге рассмотрены области применения тонких пленок в производстве интегральных схем, взаимодействие остаточной среды с пленками в процессе их формирования, аппаратура для контроля скорости осаждения и толщины тонких пленок, типы и конструкции установок для осаждения тонких пленок, пути улучшения параметров установок и повышения их производительности.Издательство: Энергия
Мнения