Атомная диффузия в полупроводниковых структурах

📘 Рассмотрены механизмы перемещения атомов, вопросы диффузионно-стимулированного дефектообразования, влияния взаимодействия примесей с дефектами, свободными носителями заряда, электрическими и упругими полями на диффузию.
Издательство: Атомиздат