Структура компонентов БИС

📗 В книге рассмотрены структурные особенности компонентов БИС (больших интегральных схем) --- основы элементной базы вычислительной техники: пленок двуокиси кремния, нитрида кремния, поликристаллического кремния. Основанная в значительной степени на оригинальных исследованиях автора, книга дает представление о тесной связи совершенства строения компонентов с технологией БИС, о фазовых превращениях в пленках, контактных взаимодействиях материалов. Специально обсуждаются возможности современных методов структурного анализа, используемых для изучения компонентов и структурного сопровождения технологии БИС, а также для описания поверхности полупроводников. Рассмотрены проблемы материаловедения БИС нынешнего и будущих поколений.
Издательство: Наука