Интегральные микромеханические зеркала

📒 Рассмотрены принципы построения микромеханических зеркал и устройств обработки сигналов емкостных преобразователей перемещений. Представлены разработанные методы построения микромеханических зеркал с крестообразным и интегрированным внутренними подвесами, уравнения движения зеркальных элементов и модели для расчета жесткостей упругих подвесов предложенных устройств. Предложен метод проектирования микромеханических зеркал.