Самоорганизация наноструктур при ионном распылении полупроводников

📘 Учебное пособие предназначено для магистрантов направления подготовки «Электроника и наноэлектроника», «Прикладная математика и информатика» и аспирантов, специализирующихся в области технологий интегральной электроники и математического моделирования технологических процессов микро- и наноэлектроники. В учебном пособии подробно рассмотрены методы построения математических моделей эрозии поверхности твердых тел при ионном распылении, основанные на подходах П. Зигмунда. Приведены три основные модели эрозии поверхности и исследованы их состояния равновесия. На примере этих моделей показано, как при потере устойчивости состояний равновесия происходит формирование пространственно-неоднородного рельефа, в том числе и волнообразного нанорельефа.