Тонкие пленки оксида олова, полученные золь-гель методом

📓 Оксид олова - полупроводник n-типа. Проводимость обусловлена недостатком кислорода по стехиометрии. Тонкие пленки оксида олова меняют свою проводимость при изменении температуры и состава окружающей среды. Ещё они прозрачны в видимой и длинноволновой области спектра. Эти свойства стали основой для применения тонких пленок в газоаналитической аппаратуре и прозрачных проводящих покрытиях. В данной книге рассмотрены влияние изотермического отжига, легирования и воздействия кислородной и водородной плазм на структуру и свойства тонких пленок оксида олова, полученных золь-гель методом.