Газочувствительные пленки диоксида олова

📕 В работе представлены результаты экспериментального и теоретического исследования процесса формирования тонких газочувствительных пленок оксида олова методом реактивного распыления проводящей мишени на постоянном токе и диэлектрической мишени с ВЧ-смещением, изучение электрофизических свойств пленок, влияния состава окружающей газовой среды на проводимость слоев и выяснение особенностей их применения в датчиках газов. Выполнен поиск и исследование способов воздействия на процессы, определяющие газочувствительность слоев, их стабильность и воспроизводимость. Разработана математическая модель процесса осаждения тонких пленок методом реактивного распыления, объединяющая понимание отдельных процессов в их взаимосвязи, определен диапазон оптимальных параметров на этапе формирования слоев. Исследованы зависимости параметров и характеристик тонких газочувствительных пленок от температуры, рабочего напряжения, состава окружающей среды.