📘 Целью настоящей работы являлось исследование методом атомно-силовой микроскопии и оптической спектроскопии тонких полимерных плёнок, подвергшихся имплантации ионов металла при различных дозах и плотностях ионного тока. Для этого использовался имплантатор, атомно-силовой микроскоп Solver P-47 Pro и спектрометр Specord UV VIS, в диапазоне длин волн от 300 нм до 800 нм. Установлены зависимости коэффициента средней шероховатости поверхности, элементного состава и коэффициента оптического поглощения от дозы ионной имплантации. Определены размеры формирующихся в ходе имплантации углеродных нанокластеров в глубине имплантированного слоя и размеры наноструктур, образованных на поверхности полимера.