Модификация свойств ITO пленок при ионно- лучевой обработке

📓 Данная книга является обобщением работы авторов в рамках диссертационной работы Закировой Р.М. В книге описано применение облучения низкоэнергетическими ионами для модификации свойств тонких пленок, в частности оксида индия, легированного оловом. Показано, что использование ионно-лучевой обработки, чередующейся с процессом реактивного ВЧ магнетронного распыления, позволяет получать прозрачные проводящие покрытия при низких (25 – 50 °C) температурах осаждения