Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических преобразователей с гетероструктурой "кремний на изоляторе" для авиационной и ракетно-космической техники

🔖 Материал, изложенный в учебном пособии обеспечивает закрепление знаний по технологии проектирования и производства радиокомпонентов и приборов на основе кремния, в частности микроэлектромеханических (МЭМС) измерительных тензорезистивных преобразователей на основе гетероструктуры "кремний на изоляторе" (КНИ). Помимо сведений, известных из различных источников научно-технической информации, приводятся оригинальные, полученные автором, результаты.
Рассмотрены также некоторые вопросы из физики и кристаллографии полупроводниковых материалов., технологии формирования объёмных (3D) кремниевых резисторов и других кремниевых объёмных структур - то, что необходимо для выполнения расчётов электрических и конструктивных параметров 3D-резисторов с учётом электрофизических и конструктивных свойств кремния.
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по соответствующим специальностям, а также для инженеров и аспирантов, участвующих в выполнении научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ по данной тематике.