Обложка книги Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы, В. Киреев, А. Столяров  
Поделись книгой!
 
2006
Переплёт: Твердый переплет, 192 страницы
Категория: Книги
ISBN: 5-94836-039-3
Тираж: 1500

Где найти книгу?

📓 Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.

Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
Мнения