Интегральные схемы и микроэлектронные устройства на сверхпроводниках

📒 В отличие от первой книги по интегральной криоэлектронике В.Н.Алфеева, выпущенной издательством в 1979 г., данная монография посвящена перспективному направлению микроэлектроники - пленочным многослойным сверхпроводниковым цифровым и аналоговым интегральным схемам (ИС). Рассмотрены физические принципы создания быстродействующих элементов пленочных ИС на основе тугоплавких сверхпроводников, методы создания сверхпроводниковых ИС с элементами субмикронных размеров. Даны сведения о технологии многослойных сверхпроводниковых пленочных активных структур, методы расчета и оптимизации быстродействующих и высокочувствительных элементов ИС на основе контактов сверхпроводников с полупроводниками, методы создания многоспектральных приемных сверхпроводниковых ПС и использования магнитных вихрей Абрикосова в микроэлектронике.
Для научных работников, специализирующихся в области микроэлектроники.