Основы полупроводниковой микроэлектроники

📖 Книга является введением в полупроводниковую микроэлектронику. В ней в доступной форме изложены физические основы микроэлектроники, описаны свойства поверхностей и тонких пленок, а также технологические методы изготовления твердых и тонкопленочных схем. Приведены примеры построения и создания различных микроэлектронных схем.
Книга предназначена в качестве учебного пособия для студентов старших курсов, она будет полезна также инженерам и техникам, работающим в области полупроводниковой микроэлектроники.