Вакуумная техника. Учебник

📕 В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности использования в различных системах откачки; описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведена типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем.

Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроением".