📘 В книге описывается методика рентгеноспектрального микроанализа полупроводниковых материалов. Рассмотрены применения отраженных и вторичных электронов, катодолюминесценции, тока, индуцированного электронным зондом для исследования полупроводниковых приборов.
Книга рассчитана на широкий круг инженерно-технических работников, специализирующихся в области технологии и исследования полупроводниковых материалов и приборов.