Технология микросхем. Учебник

📓 В книге рассматриваются вопросы технологии толстых композиционных пленок, вакуумтермической технологии, технологии полупроводниковых микросхем. Значительное внимание уделено ионно-плазменному распылению, как способу получения тонкопленочных микросхем.
Вопросы технологии освещаются с позиции физико-химических процессов, протекающих при изготовлении микросхем.