Химико-спектральный анализ веществ высокой чистоты

📖 Обсуждаются вопросы концентрирования микропримесей, оптимизации условий спектрального анализа графитового концентрата, метрологической оценки методов анализа, а также послойного химико-спектрального анализа объектов микроэлектроники. Для ученых, работников заводских аналитических лабораторий, аспирантов и студентов старших курсов химических вузов.