📖 Изложены основы планарной технологии и законы распределения примесей в транзисторах. Подчеркнуты особенности изготовления кремниевых планарных ВЧ и СВЧ транзисторов. Проведен анализ физических процессов, обусловливающих изменения параметров в зависимости от режима работы. Описаны особенности переходных процессов и методы повышения пробивных напряжений. Рассмотрены специальные типы планарных транзисторов. Книга предназначена для специалистов, занимающихся конструированием, производством и применением кремниевых планарных транзисторов; она также может быть полезна аспирантам и студентам старших курсов вузов.