Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов. Учебник

📓 Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям "Полупроводники и диэлектрики", "Технология специальных материалов электронной техники", "Полупроводниковые приборы". Может быть полезен для научных работников и инженеров, занимающихся получением монокристаллов и эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов.
На современном научно-техническом уровне изложены основы термодинамики необратимых процессов и общие закономерности кинетики гомогенных и гетерогенных процессов, в которых наиболее существенное значение имеют процессы тепло- и массопереноса в неподвижной и движущейся средах. Рассмотрены процессы получения монокристаллов и эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов, а также процессы зародышеобразования, роста кристаллов и причины возникновения дефектов структуры. Даны алгоритмы и блок-схемы для решения задач на ЭВМ.