Обложка книги Металлизация ультрабольших интегральных схем, Д. Г. Громов, А. И. Мочалов, А. Д. Сулимин, В. И. Шевяков  
Поделись книгой!
 
Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2009
Переплёт: Твердый переплет, 280 страниц
Категория: Научная литература
ISBN: 978-5-94774-904-5
Тираж: 1000

Где найти книгу?

📒 Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Мнения